실리콘 공진 압력 센서는 현재 가장 정밀한 압력 센서입니다. 높은 정밀도, 우수한 안정성, 준-디지털 출력 및 기타 장점으로 인해 항공 대기 데이터 측정 시스템, 압력 컨트롤러 및 기상 측정 장비에 널리 사용될 수 있습니다.

센서 코어의 공진 구조는 소리굽쇠 빔 설계를 채택하고 작동 모드는 -평면 진동입니다. 전기 신호와 기계적 진동 사이의 상호 작용은 정전기 여기 및 용량성 진동 픽업을 통해 실현되며, 주파수 신호는 폐쇄{2}}루프 제어 회로의 출력으로 변환됩니다.

SG-P1 시리즈 고정밀 실리콘 공진 압력 센서는 간단한 압력 인터페이스와 전기 인터페이스를 채택하고 성능을 보장하는 조건에서 센서 크기를 최소화하여 제품 분해 및 설치가 편리합니다.

특징

명세서

압력 범위	140kPa	교정 범위, 최소 교정 압력 5kPa로 0~옵션 압력 범위에서 임의로 선택
	280kPa
	350kPa
	1MPa
	2MPa
압력의 종류	절대압력
측정매체	건조하고 비부식성 가스-(실리콘 웨이퍼 베어 구조) 스테인레스 스틸 316L로 가스 또는 액체에 적합(오일-충전 격리 구조)
파괴압력	140kPa:3.5×FS	과부하 압력	140kPa:3.0×FS
	280kPa:2.0×FS		280kPa:1.5×FS
	350kPa:1.5×FS		350kPa:1.2×FS
	1MPa:2.0×FS		1MPa:1.5×FS
	2MPa:2.0×FS		2MPa:1.5×FS
공급 전압	15V±0.5V DC	현재 소비	30mA 이하
선택적 결합 정확도	±0.01%F.S.	장기-안정성	올려진 단계±0.01%FS
	±0.02%F.S.		표준등급±0.02%FS
응답 시간	10%FS에서 90%FS로 압력 변화<25ms	가속 효과	10%FS에서 90%FS로 압력 변화<25ms
시작 시간	250ms는 전원 공급 후 정확도 지수에 도달합니다.
출력 범위	압력 주파수: 30kHz~50kHz
	온도 주파수: 2kHz~15kHz
	온도 대 접지 전압: 200mV~1800mV
	온도차 전압:0~1500mV
출력 방법	압력 주파수
	온도 주파수
	온도 전압
보상온도범위	-10~50도
	-40~80도
	-55~85도
	-55~100도