산업 자동화, 항공우주, 에너지 탐사 등의 분야에서 압력 측정의 정확성과 신뢰성은 장비 성능과 생산 안전에 직접적인 영향을 미칩니다. 기존 압력 센서는 재료, 환경 간섭 및 장기-안정성에 의해 제한되어 점점 더 엄격해지는 산업 요구 사항을 충족하기 어렵습니다.
초-전자 기계 시스템(MEMS) 기술을 기반으로 하는 고정밀 실리콘 공진 압력 센서는 초-고감도, 장기-안정성 및 간섭 방지 기능을 갖추고 있으며-산업의 지능형 업그레이드를 위한 핵심 구성 요소가 되어 정확한 측정을 위한 새로운 솔루션을 제공합니다.-
실리콘 공진 압력 센서는 고유한 작동 원리와 첨단 기술에서 분리할 수 없는 "1만분의 1{0}}"의 정확도를 달성할 수 있습니다. 외부 압력이 센서의 실리콘 다이어프램에 작용하면 실리콘 다이어프램이 변형됩니다. 이러한 변형은 공진 빔의 주파수 변화를 더욱 유발합니다. 마치 악기의 현을 연주할 때 현의 팽팽함의 변화가 음높이의 변화로 이어지는 것과 같습니다. 센서는 공진빔의 주파수 변화를 정밀하게 측정하여 외부 압력의 크기를 계산할 수 있습니다.
| 매개변수 | 색인 |
| 범위 | 5~140kPa.....7MPa |
| 압력 유형 | 절대압력 |
| 작동 온도 | -55~125도 |
| 품질 요소 | 30000 |
| 기본주파수 | 40kHz |
| 포괄적인 정확성 | +0.01%F.S. |
이 과정에서 정전기 여기 및 정전 용량 감지 기술이 중요한 역할을 합니다. 정전기 여기는 공진 빔에 지속적인 "구동력"을 제공하여 안정적으로 진동할 수 있도록 하는 것과 같습니다. 정전 용량 감지는 공진 빔 진동 주파수의 미묘한 변화를 정확하게 포착할 수 있는 예리한 "관찰자"와 같습니다. 이 둘은 서로를 보완하고 센서의 높은 측정 정확도를 공동으로 보장하여 ±0.01% FS의 정확도 수준을 달성합니다. 이 개념은 무엇을 의미합니까? 1기압을 측정할 때 오차가 0.1kPa에 불과한 것과 같습니다. 이러한 작은 오류는 대부분의 고정밀 측정 시나리오의 요구 사항을 충족하기에 충분합니다.-
높은 정밀도 외에도 실리콘 공진 압력 센서는 수많은 압력 센서 중에서 눈에 띄는 많은 핵심 장점을 가지고 있습니다. 온도 자체 보상 측면에서는{1}}결정 방향 도핑 공정을 통해 온도 드리프트 계수를 연간 ±100ppm으로 줄이는 데 성공했습니다. 이는 온도 변화가 큰 환경에서도 센서의 측정 정확도가 비교적 안정적으로 유지될 수 있으며 온도 변화로 인해 큰 오류가 발생하지 않는다는 것을 의미합니다. 간섭 방지 기능 측면에서, 실리콘 공진 압력 센서는 주파수 신호를 출력합니다. 이러한 종류의 신호에는 아날로그-에서-디지털 변환이 필요하지 않습니다. '신호 강국'과 마찬가지로 자체적으로 강력한 {10}간섭 방지 기능을 갖추고 있습니다. 다른 유형의 센서에 비해 반-전자기 간섭 능력이 3배 향상되어 복잡한 전자기 환경에서도 안정적으로 작동하고 측정 데이터의 정확성을 보장합니다.
극한 환경에 직면할 때에도 실리콘 공진 압력 센서는 두려움을 느끼지 않습니다. 작동 온도 범위는 -55도에서 +125도까지입니다. 극도로 추운 남극, 무더운 사막 또는 극도로 엄격한 환경 요구 사항이 있는 항공 우주 분야에서든 정상적으로 작동하여 다양한 극한 환경에서 압력 측정 요구 사항을 충족하고 관련 장비의 안정적인 작동을 위한 신뢰할 수 있는 데이터 지원을 제공합니다.
다양한 국가의 제조 산업이 급속히 발전함에 따라 산업 자동화 장비에 대한 수요가 지속적으로 증가하고 있으며, 이는 고정밀 압력 센서에 대한 수요도 증가하고 있습니다.{0}} 고객의 특별한 요구 사항을 더 잘 충족시키기 위해 당사의 전문 R&D 팀은 크기, 전력 소비, 인터페이스 정의 등에 대한 고객의 다양한 요구 사항에 따라 맞춤형 ODM 서비스를 제공할 것입니다. 또한 포장 과정에서 고객 요구 사항에 따라 적절한 포장 형태와 재료를 선택하여 센서의 성능과 신뢰성을 보장합니다.